Pusvadītāju rūpniecība no komponentu materiāliem pieprasa ārkārtīgi augstu tīrību, izturību pret koroziju un stabilitāti, un keramikas konstrukcijas komponenti lieliski atbilst šīm prasībām, padarot tos par galveno pusvadītāju iekārtu sastāvdaļu.
Vafeļu ražošanas laikā iekārtu iekšējā vide bieži tiek pakļauta augstām temperatūrām, augstam vakuumam un spēcīgai korozijai. Tradicionālie metāla materiāli ir viegli sarūsējuši vai izdala netīrumus, savukārt keramikas konstrukcijas komponentiem ir lieliska ķīmiskā stabilitāte un zemas daļiņu izdalīšanās īpašības, kas efektīvi nodrošina tīru ražošanas vidi.
Parastās pusvadītāju keramikas daļas ietver keramikas patronas, keramikas sildītājus, izolācijas gredzenus, sprauslas un vadotnes. Starp tiem elektrostatiskās patronas izmanto keramikas materiālu lieliskās izolācijas īpašības, lai nostiprinātu plāksnes, un tās ir viena no pusvadītāju aprīkojuma galvenajām sastāvdaļām.
Tā kā mikroshēmu ražošanas procesi turpina virzīties uz augstāku līmeni, precizitātes prasības iekārtām kļūst arvien stingrākas. Uzlabotiem keramikas materiāliem ar to izmēru stabilitāti un izturību pret plazmas koroziju būs vēl svarīgāka loma nākotnes pusvadītāju nozarē.